【同创Family】「尊芯科技」设计的国产首条GIGA FAB(超大晶圆厂)标准AMHS产线即将上线

发布日期:2024-01-17

 

近日,同创伟业成员企业尊芯科技集团宣布,由其设计的国产首条GIGA FAB(超大晶圆厂)标准AMHS产线即将上线。


随着国内12寸半导体晶圆厂在持续扩张中,相比8寸晶圆厂,12寸晶圆产线的工艺更加复杂,对AMHS的需求也更为迫切。而国产AMHS行业起步较晚,与国际先进水平相比存在较大差距。在关键技术领域,如自动规划路径、自主避障、智能调度等,是国产AMHS企业急需突破的瓶颈。


据了解,为满足12寸半导体晶圆厂真实需求,尊芯科技本条产线采用针对GIGA FAB的AMHS最高设计标准。具有高自动化,高灵活性,高可靠性,及完全可视化的领先技术。

该项目轨道总长100米,设计了4个弯轨、10个分歧轨道、10个合流轨道。直线的30米轨道上,设计了4个合流轨道、4个分歧轨道的交错,完全模拟FAB厂真实情况,达到3进3出先进技术要求,同时实现自动规划路径、自主避障、智能调度等功能,大幅提高了生产效率,达到真正的动态布局。

为了达到这样的设计水平,本次尊芯科技使用OHT实时的位置监控、智能预判天车行进路线等技术,再搭配尊芯独家研发的两套系统,ICU(Intersection Control Unit)控制系统及VCU(Vehicle Contorl Unit)控制系统,实现毫秒级通讯,可以将OHT小车在分歧的控制,做到零等待通过,合流处,车子适当等待通过的国际一流实施标准。

由尊芯科技集团设计的国产首条GIGA FAB标准AMHS产线在立项之初,就受到了超过10+晶圆厂客户的重点关注,从项目规划到方案设计的过程中都保持深度合作与密切交流。该项目的成功上线,将为国产AMHS行业发展树立标杆,推动国产AMHS技术水平的提升,填补国内空白,为国内FAB厂国产化智能制造发展进程注入强劲动力。



关于尊芯科技集团

尊芯智能科技集团,是一家全心致力于半导体晶圆厂自动物料搬运系统AMHS(Automated Meterial Handling System)的创新型科技企业,凭借强大的自主研发能力和交付经验,是国内首批能提供AMHS全厂规划与系统解决方案的企业。


尊芯集团将国产自主化发展作为企业使命,为半导体晶圆厂商带来更先进、更高效的智能制造解决方案。坚定不移的为打破国外产业垄断,成为国内第一的半导体智能制造企业而奋斗。